超聲清洗的主要機理是超聲波的空化作用，所以在實際測量超聲清洗的聲場時，或直接測量超聲場的物理量，或者間接測量超聲場的空化強度。主要分為以下幾種測量方法：

   1、水聽器法：

   水聽器是把水下聲壓信號轉換為電信號的電聲換能器，它可以用來測量聲場的聲壓。水聽器可分為標準水聽器和測量水聽器兩類，標準水聽器是經過絕對校驗的水聽器，性能穩定。測量水聽器是用作實驗室或工廠聲壓計量的二級標準水聽器，一般的聲壓測量就使用此類水聽器。

   2、鋁箔腐蝕法：

   這種方法將厚度為20-30um的鋁箔置于清洗聲場中受空化腐蝕，過一段時間后取出，測出由于腐蝕而損失的質量，以損失量的大小來衡量聲場強度。

   3、熱色體

   該方法是將紙板放入一定濃度的染料水溶液中，在聲場作用下，染料將優先附著在聲場較強處。這樣經過聲場短時間輻射后，在紙上就可以得到代表聲場空間分布的染料圖案。

   4、實時譜分析和統計平均法

   該方法先用水聽器獲取聲場信號，然后輸入到寬帶實時譜分析儀中進行統計處理，其中水聽器在測量頻率范圍內要有較平坦的響應和較大的動態范圍。實時譜分析和統計平均法可以用來比較不同清洗機的空化清洗性能，若要對清洗設備的空化聲場做定量測量，則需統一規定測量環境以及對接受換能器的性能、位置等的測試設備性能加以規范化，同時該方法對操作者的技術要求測量比較嚴格，一些企業已經用此方法來評估超聲設備的性能和處理效果。